Tel.:
China het laboratorium dempt - oven fabrikant
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

      Wij beheersen Hitte!   |  200 ~ 2200℃ 

Thuis Productende oven van de laboratoriumbuis

Oven op hoge temperatuur van de Laboratoriumpecvd de gespleten buis met kwartsbuis

Oven op hoge temperatuur van de Laboratoriumpecvd de gespleten buis met kwartsbuis

High Temperture Lab PECVD split tube furnace with quartz tube

Productdetails:

Plaats van herkomst: China
Merknaam: Brother Furnace
Certificering: CE
Modelnummer: Br-PECVD

Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:

Min. bestelaantal: 1 set
Prijs: Negotiation
Verpakking Details: Sterke houten doos voor het globale verschepen
Levertijd: 7-21 werkdagen
Betalingscondities: L / C, T / T, Western Union
Levering vermogen: 200 reeksen per maand
Contact nu
Gedetailleerde productomschrijving
Maximum temperatuur: 1200℃ Normaal vacuüm: -0.1Mpa
Maximum Vacuüm: Zuigt de configuratie moleculaire pomp, (Facultatieve) Pa 7x10-4 Flens: 304 roestvrij staal verzegelende flens
Over--temperatuurbescherming: automatisch macht-weg wanneer de temperatuur de toelaatbare vastgestelde waarde overschrijdt Veiligheidsbescherming: Automatisch macht weg wanneer het ovenlichaam lekt
Ovenstructuur: de dubbele dubbele koelventilator van het laagstaal, oppervlaktetemperatuur onder 50℃ Maximum het Verwarmen tarief: 20°C /min
Temperatuur-nauwkeurigheid: ±1℃ Temperatuuruniformiteit: ±5℃
Temperatuurregeling: 50 segmenten programmeerbare en autocontrole ovenbuis: kwarts buis
Toepassing: Oven van de laboratoriumpecvd de gespleten buis met kwartsbuis

Oven op hoge temperatuur van de Laboratoriumpecvd de gespleten buis met kwartsbuis
 
Intelligente PECVD-Inleiding:
PECVD-het systeem wordt ontworpen om de reactietemperatuur van traditioneel CVD te verminderen. Het installeerde rf-inductiemateriaal voor traditioneel CVD om reagerend gas te ioniseren, zodat wordt het plasma geproduceerd. Is de hoge activiteit van het plasma Reactie wordt versneld wegens de hoge activiteit van plasma. Zo, wordt dit systeem genoemd PECVD.
Dit model is het nieuwste product, stelde het de voordelen van de meeste buispecvd systemen samen, en voegde een het voorverwarmen streek in de voorzijde van het PECVD-systeem toe. De tests toonden aan dat de depositosnelheid sneller is, is de filmkwaliteit beter, zijn de gaten minder, en zullen niet barsten. Automatische intelligente de controlesysteem wordt van AISO het volledig onafhankelijk ontworpen door ons bedrijf, is het geschikter te werken en zijn functie is krachtiger.
Brede toepassingswaaier: metaalfilm, ceramische film, samengestelde film, de ononderbroken groei van diverse films. Gemakkelijk om functie te verhogen, kan plasma het schoonmaken uitbreiden etsen en andere functies
 
 
Hoofdeigenschap:

  • Het hoge tarief van het filmdeposito: Rf-de gloedtechnologie die, zeer het depositotarief van de film verhoogt, het depositotarief kan 10Å/S bereiken
     
  • Hoge gebiedsuniformiteit: De geavanceerde rf-het voeden technologie met meerdere balies, de speciale distributie van de gasweg, en het verwarmen de technologie, enz., maken de index van de filmuniformiteit 8% bereiken
     
  • Hoge consistentie: hanterend het geavanceerde ontwerpconcept de halfgeleiderindustrie, is de afwijking tussen de substraten van één deposito minder dan 2%
     
  • Hoge processtabiliteit: Het hoogst stabiele materiaal verzekert een ononderbroken en stabiel proces

Oven op hoge temperatuur van de Laboratoriumpecvd de gespleten buis met kwartsbuis
 
 
Standaardreserveonderdelen:

  • Het stoppen van buis 4 PCs
  • Ovenbuis 1 PC
  • Vacuümpomp 1 PC
  • Vacuümverzegelingsflens 2 reeksen
  • Vacuümmaat 1 PC
  • Gaslevering & vacuümpomp
  • Rf-plasmamateriaal

 
Facultatieve Reserveonderdelen:
 

  • Snelle versieflens, flens Met drie richtingen
  • de puinkegel van de 7 duimhd aanraking

 
 
 
De Oven Standaardspecificatie van de laboratoriumpecvd Gespleten Buis:
 

1. Verwarmingssysteem
Max.temperature 1200℃ (1 uur)
Het werk temperatuur ≤1100℃
Kamergrootte Φ100*1650mm (de Buis diamater is klantgericht)
Kamermateriaal Hoge zuiverheidsalumina vezelraad
Thermokoppel K type
Temperatureaccuracy ±1℃
Temperatuurcontrole

● 50 programmeerbare segmenten voor nauwkeurige controle van het verwarmen tarief, het koelen tarief en blijven stilstaan tijd.

● Gebouwd in PID auto-Wijsjefunctie met oververhittende & gebroken thermokoppel gebroken bescherming.

● PLC automatische controlesysteem door PC-controlemechanisme binnen.

● Het systeem van de temperatuurcontrole, glijdend systeem (Tijd en Afstand) zou door programma kunnen worden gecontroleerd.

Het verwarmen lengte 440mm
Constante het verwarmen lengte 200mm
Het verwarmen element Weerstandsdraad
Voeding Enige fase, 220V, 50Hz
Geschatte macht 9kW
2. Rf-Plasmabron
Rf-frequentie 13.56 MHz±0.005%
Outputmacht 500W
Maximum wijs op macht 500W
Rf-outputinterface 50 Ω, n-Type, wijfje
Machtsstabiliteit ±0.1%
Harmonische component ≤-50dbc
Leveringsvoltage/Frequentie Enige fase AC220V 50/60HZ
Gehele efficiency >=70%
Machtsfactor >=90%
Het koelen methode Gedwongen - lucht
3. Het systeem van de drie debietmeterscontrole van de precisiemassa
Externe dimensie 600x600x650mm
Schakelaartype Swagelokss verbinding
Standaardwaaier (N2) 0~100sccm, 0~200sccm, of klantgericht
Nauwkeurigheid ±1.5%
Lineair ±0.5~1.5%
Herhaalbaarheid ±0.2%
Reactietijd

Gasbezit: 1~4 seconde;
Elektrisch bezit: 10 seconde

Drukwaaier 0.1~0.5 MPa
Max.pressure 3MPa
Interface Φ6,1/4“
Vertoning 4 cijfervertoning
Omgevingstemperatuur 5~45 hoge zuiverheidsgas
Drukmaat - 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/eenheid
Sluitklep Φ6
Poolse SS buis Φ6
Laag vacuüm inbegrepen systeem
 

 
Waarom Oven van de het Laboratoriumpecvd de Gespleten Buis van de Broer?

  • Fabrikant met 10+-de ervaring van jaren
  • Beste kwaliteit
  • Aangepast ontwerp
  • Ervaren arbeiders
  • Grote fabriek


De klanten van meer dan 30 landen kiezen ons

  • De tevreden klanten bieden bewijs van onze verplichting aan uitstekende ontwerp, kwaliteit en kostenefficiency aan.


De beste dienst, Snelle reactie

  • Vrij ontwerp voor speciale oven
  • Vrije technische ondersteuning voor het leven
  • Vrije steekproeftest

 
Als u in onze oven Op hoge temperatuur van de Laboratoriumpecvd gespleten buis met kwartsbuis geinteresseerd bent, contacteer ons nu om een citaat te krijgen!

Contactgegevens
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

Contactpersoon: li

Direct Stuur uw aanvraag naar ons (0 / 3000)

Andere Producten
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd
De bouw van 10, de Nationale Universitaire Wetenschap van Henan en Technologiepark, Zhengzhou, China.
Tel.:86-371-67973830
Mobile Site Privacy Policy China Van Goede Kwaliteit het laboratorium dempt - oven Leverancier. © 2019 - 2020 muffle-furnace.com. All Rights Reserved.