Plaats van herkomst: | China |
Merknaam: | Brother Furnace |
Certificering: | CE |
Modelnummer: | Br-PECVD |
Min. bestelaantal: | 1 set |
---|---|
Prijs: | Negotiation |
Verpakking Details: | Sterke houten doos voor het globale verschepen |
Levertijd: | 7-21 werkdagen |
Betalingscondities: | L / C, T / T, Western Union |
Levering vermogen: | 200 reeksen per maand |
Maximum Temperatuur: | 1200℃ | Normaal vacuüm: | -0.1Mpa |
---|---|---|---|
Maximum Vacuüm: | Zuigt de configuratie moleculaire pomp, (Facultatieve) Pa 7x10-4 | Flens: | 304 roestvrij staal verzegelende flens |
Over--temperatuurbescherming: | automatisch macht-weg wanneer de temperatuur de toelaatbare vastgestelde waarde overschrijdt | Veiligheidsbescherming: | Automatisch macht weg wanneer het ovenlichaam lekt |
Ovenstructuur: | de dubbele dubbele koelventilator van het laagstaal, oppervlaktetemperatuur onder 50℃ | MAXIMUM HET VERWARMEN TARIEF: | 20°C /min |
Temperatuurnauwkeurigheid: | ±1℃ | Temperatuuruniformiteit: | ±5℃ |
Temperatuurcontrole: | 50 segmenten programmeerbare en autocontrole | Ovenbuis: | Kwartsbuis |
Toepassing: | Plasma Verbeterde LPCVD | ||
Hoog licht: | roterende buisoven,de oven van de kwartsbuis |
Standaardreserveonderdelen:
Facultatieve Reserveonderdelen:
De Oven Standaardspecificatie van de laboratoriumpecvd Gespleten Buis:
1. Verwarmingssysteem | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 uur) | |
Het werk temperatuur | ≤1100℃ | |
Kamergrootte | Φ100*1650mm (de Buis diamater is klantgericht) | |
Kamermateriaal | Hoge zuiverheidsalumina vezelraad | |
Thermokoppel | K type | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
Temperatuurcontrole |
● 50 programmeerbare segmenten voor nauwkeurige controle van het verwarmen tarief, het koelen tarief en blijven stilstaan tijd. ● Gebouwd in PID auto-Wijsjefunctie met oververhittende & gebroken thermokoppel gebroken bescherming. ● PLC automatische controlesysteem door PC-controlemechanisme binnen. ● Het systeem van de temperatuurcontrole, glijdend systeem (Tijd en Afstand) zou door programma kunnen worden gecontroleerd. |
|
Het verwarmen lengte | 440mm | |
Constante het verwarmen lengte | 200mm | |
Het verwarmen element | Weerstandsdraad | |
Voeding | Enige fase, 220V, 50Hz | |
Geschatte macht | 9kW | |
2. Rf-Plasmabron | ||
Rf-frequentie | 13.56 MHz±0.005% | |
Outputmacht | 500W | |
Maximum wijs op macht | 500W | |
Rf-outputinterface | 50 Ω, n-Type, wijfje | |
Machtsstabiliteit | ±0.1% | |
Harmonische component | ≤-50dbc | |
Leveringsvoltage/Frequentie | Enige fase AC220V 50/60HZ | |
Gehele efficiency | >=70% | |
Machtsfactor | >=90% | |
Het koelen methode | Gedwongen - lucht | |
3. Het systeem van de drie debietmeterscontrole van de precisiemassa | ||
Externe dimensie | 600x600x650mm | |
Schakelaartype | Swagelokss verbinding | |
Standaardwaaier (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm, of klantgericht | |
Nauwkeurigheid | ±1.5% | |
Lineair | ±0.5~1.5% | |
Herhaalbaarheid | ±0.2% | |
Reactietijd |
Gasbezit: 1~4 seconde; |
|
Drukwaaier | 0.1~0.5 MPa | |
Max.pressure | 3MPa | |
Interface | Φ6,1/4“ | |
Vertoning | 4 cijfervertoning | |
Omgevingstemperatuur | 5~45 hoge zuiverheidsgas | |
Drukmaat | - 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/eenheid | |
Sluitklep | Φ6 | |
Poolse SS buis | Φ6 | |
Laag vacuüm inbegrepen systeem |
Waarom Oven van de het Laboratoriumpecvd de Gespleten Buis van de Broer?
De klanten van meer dan 30 landen kiezen ons
De beste dienst, Snelle reactie
Als u in ons Plasma 1200℃ verbeterde LPCVD-Oven met Vacuümpomp, contacteert ons nu geinteresseerd bent om een citaat te krijgen!
Contactpersoon: li
Tel.: +8613526693072